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光譜儀用CCD介紹(卓立漢光)CCD,是英文ChargeCoupledDevice即電荷耦合器件的縮寫,它是在MOS晶體管電荷存儲(chǔ)器的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,突出的特點(diǎn)是以電荷作為信號(hào),而不是以電流或電壓作為信號(hào)的。在P型或N型硅單晶的襯底上生長(zhǎng)一層厚度約為120~150nm的SiO2層,然后按一定次序沉積m行n列個(gè)金屬電或多晶硅電作為柵,柵間隙約2.5μm,于是每個(gè)電與其下方的SiO2和半導(dǎo)體間構(gòu)成了一個(gè)MOS結(jié)構(gòu),這種結(jié)構(gòu)再加上輸入、輸出結(jié)構(gòu)就構(gòu)成了m×n位CCD(m>1,n≥...
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